檢索結果：共8筆資料 檢索策略： "Thin film".ekeyword (精準) and cdept.raw="自動化及控制研究所"
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本研究為有機發光二極體(Organic Light-Emitting Diode, OLED)在製程封裝上應用低溫電漿輔助化學氣相沉積法(Plasma-Enhanced Chemical Vapor…
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光譜儀系統中，根據光柵方程式將入射光分光後，偵測器上會產生高階光波干擾，二階線性漸變濾波器(second-order Linear Variable Filter, LVF)目的為濾除光譜儀系統中光…
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本研究主分為兩大部分，一、設計蒸鍍腔體內之大型遮板，其目的為改善膜厚均勻性，提高薄膜生產良率；二、線性漸變濾波片的設計，在基材上方加入擋片，使膜厚有梯度變化，達到濾波效果。 在第一部分，為使腔體內膜…
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本文將採用二階線性漸變濾波器(second-order Linear Variable Filter, LVF) 通用設計流程開發技術，以能適用於市面上大部分之蒸鍍機台，與模型參數自由調控的開放參數…
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本篇論文之研究目的為開發一微型薄膜厚度量測儀，該量測儀運作原理是基於 光學干涉法的實驗理論設計: 入射光分別於薄膜表面與基板反射，兩道反射光會產生 干涉現象，本研究藉由微型分光結構取得干涉光譜，再透…
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在OLED (有機發光二極體)顯示器，因為熱蒸鍍成熟技術，被廣泛運用有機薄膜沉積的製程中，由於有機材料相當昂貴，而材料利用率僅有10%~15%，使OLED 原件在開發過程中，即設立高規格的門檻，且沉…
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本文探討光譜儀的系統中，利用光柵方程式將入射光分光後，會形成一階及二階以上的光波，設計高通濾波主要是先前所開發的二階線性漸變濾波器(second-order Linear Variable Filt…
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在微晶矽薄膜太陽能電池(microcrystalline silicon thin film solar cell, μc-Si)絕緣製程(isolation process)的研究範疇中，本研究探…